氮化矽生産創新設計新工藝利技術手冊_百度文庫
3氮化矽陶瓷燒結新工藝含有氧化釔、_氧化鑭和氧化鋁的氮化矽及制造方法5高韌性氮化矽瓷刀具材料及其制造方法6
廠家報價氮化矽的生産工藝及設備上，可獲得更高的刀具耐用度與加工精度刀具的費用增加不多，而經濟效益卻明顯提高切削高硬度鋼切削高錳鋼高錳鋼的原始硬度雖然不一定很高，但加工硬化非常嚴重，加工後硬度可提高一倍左右，切削加工性很差，用一般硬質合金刀具很難加工，特別當加工精度或表面粗糙度要求高時，硬質合金刀具更顯得無能為力例如某廠加工主動車輪，材料為，調質，硬度為，內孔公差僅為，內孔錐度要求，粗糙度要求為選用多種硬質合金刀具加工，均達不到上述質量要求；後改用氮化矽陶瓷刀具，順利解決了問題另一種高錳鋼的原始硬度為.....
第三章剛玉氮化矽生産深度調查節産品生産一、市場生産調查年份2003年2004年2009年2010年2011年總産量品種二、細分産品生産調查産品種類
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及設備特征是矽烷和氨氣的氣相化學反應是在立式雙溫區流態反應器3中進行該反應器流態床底部設有不鏽鋼制造的分配闆31載體填料32是粒度為01~05mm的矽晶體床層外
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上，可獲得更高的刀具耐用度與加工精度刀具的費用增加不多，而經濟效益卻明顯提高切削高硬度鋼切削高錳鋼高錳鋼的原始硬度雖然不一定很高，但加工硬化非常嚴重，加工後硬度可提高一倍左右，切削加工性很差，用一般硬質合金刀具很難加工，特別當加工精度或表面粗糙度要求高時，硬質合金刀具更顯得無能為力例如某廠加工主動車輪，材料為，調質，硬度為，內孔公差僅為，內孔錐度要求，粗糙度要求為選用多種硬質合金刀具加工，均達不到上述質量要求；後改用氮化矽陶瓷刀具，順利解決了問題另一種高錳鋼的原始硬度為，初始切削後的硬度即達，用普通硬質合金刀具很難加工，選用高性能硬質合金刀具雖能加工，但效率較低，切削速度隻有用氮化矽陶瓷刀片在切削深度和進給量不變的情況下，切削速度可達到，加工效率提高倍多，而且切削平穩輕快，工件的表面粗糙。
耐材之窗耐火原料價格指數指數1283點環比：+006%同比：330%氮化矽制品按工藝可以分為反應燒結制品、熱壓制品、常壓燒結制品、等靜壓燒結制品和反應重燒制品等。其中，反應燒結是一種常用的生産氮化矽耐火制品的方法。反應燒結法生産氮化矽制品是將磨細的矽粉（粒度一般小于80μm），用機壓或等靜壓成型，坯體幹燥後，在氮氣中加熱1350～1400℃，在燒成過程中同時氮化而制得。采用這種生産方法，原料條件和燒成工藝及氣氛條件對制品的性能有很大的影響。矽粉中含有許多雜質，如Fe，Ca，Aì，Ti等。Fe被認為是反應過程中的催化劑。它能促進矽的擴散，但同時，也將造成氣孔等缺陷。Fe作為添加劑的主要作用：在反應過程中可作催化劑，促使制品表面生成2氧化膜。
氮化矽Si3N4是一種優良的高溫結構陶瓷，在工業生産和科技領域有重要用途。Ⅰ工業上有多種方法來制備氮化矽，常見的方法有：方法一直接氮化法：在1300l400℃時，高純粉狀矽與純氮氣化合，其反應方程式為__________：方法二化學氣相沉積法：在高溫條件下利用四氯化矽氣體、純氯氣、氫氣反應生成氯化矽和，與方法一相比，用此法制得的氮化矽純度較高，其原因是____________________。方法三SiNH24熱分解法：先用四氯化矽與氨氣反應生成SiNH24和一種氣體________（填分子式）；然後使SiNH24受熱分解，分解後的另一種産物的分子式為____________。Ⅱ．1氨化矽抗腐蝕能力很強，但易被氫氟酸腐蝕，氨化矽與氫氟酸反應生成四氟化矽和。
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出自：任瑞龍1、2、李海華1、黃柏喻2、陳勇杉2、季峰強2，1上海交通大學微電子學院；2中芯國際在亞微米的生産制造技術中，氮化矽工藝的已經成為産品良率的主要影響因素。本文主要針對立式氮化矽爐管的氮化矽制造工藝中所遇到問題進行研究。通過大量的對比性實驗進行排查與分析，并利用各種先進的實驗的設備和器材找到産生的原因，找到解決問題的方案。結果證明不僅延長了機臺的維護周期，而且改善了機臺的狀況，終獲得良率的提升，優化了制造工藝。?氮化矽工藝的問題分析氮化矽制備工藝通常在中等真空程度下的反應腔體內通入反應氣體二氯二氫矽（2Cl2）和氨氣（NH3）來生成氮化矽，反。