三氯氫矽級矽粉加工設備橋機械網
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該方法是用冶金級矽粉，作原料，與氯化氫氣體反應。可使用銅或鐵基催化劑。反應在和0。053下進行2Si+3+4+3H2該反應所用反應器經曆了從固定床、攪拌床到流化床的發展過程。工藝也從間歇發展到連續。反應器由碳鋼制成，預先將歸粒子加入到反應器，加熱到所需地溫度後，從底部連續通入氯化氫氣體，産物及未反應物料被連續輸出，經除塵精制後，用于生産高純多晶矽和高純矽烷。上述反應是放熱反應，反應熱為141。8千焦升高溫度有利于提高反應速率，但同時導緻三氯氫矽選擇性下降，通過優化反映溫度，可明顯提高三氯氫矽的選擇率。例如在度和2到5千帕條件下使矽和氯化氫反應，産物以千克
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